恭喜阔斯泰有限责任公司菅野晃获国家专利权
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龙图腾网恭喜阔斯泰有限责任公司申请的专利基座及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115522183B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210729228.9，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权基座及其制造方法是由菅野晃;远藤典昭;田部井贵浩;井上昌利设计研发完成，并于2022-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基座及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基座，其具有包含碳材料的基材，且具有载置硅晶片的一个主面和与所述一个主面对置的另一个主面，所述基材的整个表面被包含碳化硅的薄膜覆盖，所述一个主面的放射率偏差为3％以内，且一个主面和与所述一个主面对置的另一个主面的平均放射率之比为1：1～1：0.8。
本发明授权基座及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种基座，其特征在于，所述基座具有包含碳材料的不具有贯通孔的圆板状的基材，且具有载置硅晶片的一个主面和与所述一个主面对置的另一个主面，所述基材的整个表面被包含碳化硅的薄膜覆盖，所述一个主面的放射率的偏差为3％以内，且一个主面和与所述一个主面对置的另一个主面的平均放射率之比为1：1～1：0.8。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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