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龙图腾网恭喜东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115965574B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211060150.2，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2022-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。该方法包括：获取待检测位置的第一扫描电子显微镜图像，以及除待检测位置之外的其他位置的第二扫描电子显微镜图像；基于第一扫描电子显微镜图像和第二扫描电子显微镜图像，分别与待检测位置的设计版图进行对准，得到对准结果；基于对准结果，分别将第一扫描电子显微镜图像和第二扫描电子显微镜图像，与待检测位置的设计版图进行比较，得到差异信息；根据差异信息和配方文件，判断第一扫描电子显微镜图像与设计版图之间的第一差异是否为缺陷。根据本申请实施例，提高缺陷检测精度以及扩大缺陷检测的检测范围。

本发明授权基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法、装置在权利要求书中公布了：1.一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷检测方法，其特征在于，包括：获取待检测位置的第一扫描电子显微镜图像，以及除所述待检测位置之外的其他位置的第二扫描电子显微镜图像；基于所述第一扫描电子显微镜图像和所述第二扫描电子显微镜图像，分别与所述待检测位置的设计版图进行对准，得到对准结果；基于所述对准结果，分别将所述第一扫描电子显微镜图像和所述第二扫描电子显微镜图像，与所述待检测位置的设计版图进行比较，得到差异信息；根据所述差异信息和配方文件，判断所述第一扫描电子显微镜图像与所述设计版图之间的第一差异是否为缺陷，包括：根据所述差异信息和配方文件，若所述第一扫描电子显微镜图像与所述设计版图之间的所述第一差异小于预设差异范围，且存在预设数量的所述待检测位置的同类位置在所述第二扫描电子显微镜图像上，则确定所述第一差异不为缺陷。

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