恭喜佳能特机株式会社内田敏治获国家专利权
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龙图腾网恭喜佳能特机株式会社申请的专利成膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116162909B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211437892.2，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权成膜装置是由内田敏治;松本行生;佐野爱弓设计研发完成，并于2022-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够容易地调查供给电力和冷却液的设备有无异常的成膜装置。具备：成膜源100，其用于在配置于腔室10内的基板S上形成薄膜；大气箱210，其内部保持为大气环境，且支承成膜源100并移动；连结机构240，其设置为将腔室10和大气箱210连结，并且使腔室10的外部与大气箱210的内部连通，且随着大气箱210的移动而移动；供给设备，其设置于连结机构240的内部，向成膜源100供给电力以及冷却液；以及确认部件300，其设置于连结机构240的内部，用于确认所述供给设备有无发生异常。
本发明授权成膜装置在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置，其特征在于，所述成膜装置具备：成膜源，其用于在配置于腔室内的基板上形成薄膜；支承台，其内部保持为大气环境，且支承所述成膜源并移动；连结机构，其设置为将所述腔室和所述支承台连结，并且使所述腔室的外部与所述支承台的内部连通，且随着所述支承台的移动而移动；供给设备，其设置于所述连结机构的内部，向所述成膜源供给电力以及冷却液；以及确认部件，其设置于所述连结机构的内部，具有获取所述连结机构的内部的电磁波的获取部件，用于根据基于由所述获取部件获取的电磁波的图像或图像数据来确认所述供给设备有无发生异常。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能特机株式会社，其通讯地址为：日本新泻县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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