恭喜日新电机株式会社酒井敏彦获国家专利权
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龙图腾网恭喜日新电机株式会社申请的专利固定电荷控制方法、薄膜晶体管的制造方法及薄膜晶体管获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117501454B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202380010645.0,技术领域涉及:H10D30/67;该发明授权固定电荷控制方法、薄膜晶体管的制造方法及薄膜晶体管是由酒井敏彦;安东靖典设计研发完成,并于2023-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本固定电荷控制方法、薄膜晶体管的制造方法及薄膜晶体管在说明书摘要公布了:一种固定电荷控制方法、薄膜晶体管的制造方法及薄膜晶体管,所述固定电荷控制方法,为对半导体元件中使用的绝缘膜内的固定电荷进行控制的方法,所述方法中,在所述绝缘膜的表面形成金属膜,经由所述金属膜对所述绝缘膜进行离子注入,由此在所述绝缘膜中显现出固定电荷。
本发明授权固定电荷控制方法、薄膜晶体管的制造方法及薄膜晶体管在权利要求书中公布了:1.一种固定电荷控制方法,为对半导体元件中使用的绝缘膜内的固定电荷进行控制的方法,所述方法中,在所述绝缘膜的表面形成金属膜,经由所述金属膜对所述绝缘膜进行离子注入,使注入离子分布于所述绝缘膜内的与所述金属膜的界面附近,由此在所述绝缘膜中显现出固定电荷,其中所述金属膜的厚度与基于所述离子注入的离子的平均射程相同,使因原子碰撞而生成的缺陷的大部分停留在所述金属膜内。
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