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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116423378B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310410608.0，技术领域涉及：B24B37/00；该发明授权金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备是由侯映红;田芳馨;刘杰;王成鑫;郑烨设计研发完成，并于2023-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备，方法包括：抛光过程中，获取膜厚传感器测量金属膜厚的第n次输出量Sn；利用此时的膜厚传感器温度tsn和自身温漂函数，计算传感器温漂补偿量ΔSsn；利用此时的晶圆温度twn、第n‑1次测定的膜厚dn‑1以及晶圆温度补偿函数，计算晶圆温漂补偿量ΔSwn；计算补偿后的输出量Sn′，Sn′＝Sn‑ΔSsn‑ΔSwn；根据传感器输出函数以及所述补偿后的输出量Sn′得到第n次测定的膜厚dn。

本发明授权金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备在权利要求书中公布了：1.一种金属膜厚在线测量补偿方法，其特征在于，包括：抛光过程中，获取膜厚传感器测量金属膜厚的第n次输出量Sn；利用此时的膜厚传感器温度tsn和自身温漂函数，计算传感器温漂补偿量ΔSsn，所述自身温漂函数由膜厚传感器在不同温度下的输出与温度的映射关系标定得到，所述自身温漂函数表示为ΔSs＝f2ts，其中，ΔSs为传感器温漂补偿量，ts为膜厚传感器的温度；利用此时的晶圆温度twn、第n-1次测定的膜厚dn-1以及晶圆温度补偿函数，计算晶圆温漂补偿量ΔSwn，所述晶圆温度补偿函数由晶圆在不同温度下的不同膜厚对应的膜厚传感器的输出标定得到，所述晶圆温度补偿函数表示为ΔSw＝f3tw，d，其中，ΔSw为晶圆温漂补偿量，tw为晶圆温度，d为晶圆的膜厚；计算补偿后的输出量S′n，S′n＝Sn-ΔSsn-ΔSwn；根据传感器输出函数以及所述补偿后的输出量S′n得到第n次测定的膜厚dn，所述传感器输出函数由在常温下膜厚传感器的输出与实际膜厚之间的映射关系标定得到，所述传感器输出函数表示为d＝f1S，其中，d为晶圆的膜厚，S为膜厚传感器的输出量。

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