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龙图腾网恭喜东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117011405B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310774363.X，技术领域涉及：G06T11/00；该发明授权电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备是由孙伟强;蒋俊海设计研发完成，并于2023-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备，包括：获取基准方向上的扫描图像；根据所述扫描图像，确定所述扫描图像中的干扰信号的基准信号模型；基于所述干扰信号的基准信号模型，确定目标补偿模型；基于所述目标补偿模型，对扫描方向上的干扰信号进行补偿。本申请的一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备解决了电子束扫描成像过程中由于振动或噪声等信号干扰导致图像质量下降的问题，提升了图像分辨率，降低了图像定位偏差。

本发明授权电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法，其特征在于，包括：获取基准方向上的扫描图像；根据所述扫描图像，确定所述扫描图像中的干扰信号的基准信号模型；基于所述干扰信号的基准信号模型，确定目标补偿模型，包括：对所述基准信号模型进行处理，得到目标信号模型；基于所述目标信号模型，确定目标补偿模型；其中，基于所述目标信号模型，确定目标补偿模型，包括：基于所述目标信号模型，确定初始补偿模型；基于实际干扰信号与扫描图像中的干扰信号的时间差，确定相位偏差；根据所述相位偏差，对初始补偿模型进行修正，得到目标补偿模型；所述干扰信号为振动信号，所述对所述基准信号模型进行处理，得到目标信号模型，包括：基于扫描方向与基准方向的关系，对所述基准信号模型进行处理，确定振动信号的目标信号模型；或者所述干扰信号为噪声信号，所述对所述基准信号模型进行处理，得到目标信号模型，包括：对所述基准信号模型中的基本参数进行放大，得到噪声信号的目标信号模型；其中，所述基准方向包括正交的第一方向和第二方向，所述获取基准方向上的扫描图像，包括：获取第一方向上的第一扫描图像；获取第二方向上的第二扫描图像；所述基于扫描方向与基准方向的关系，对所述基准信号模型进行处理，确定振动信号的目标信号模型，包括：判断所述扫描方向与所述基准方向是否一致；在所述扫描方向与所述基准方向一致的情况下，所述基准信号模型即为所述目标信号模型；在所述扫描方向与所述基准方向不一致的情况下，对所述基准信号模型进行修正，得到所述目标信号模型；基于所述目标补偿模型，对扫描方向上的干扰信号进行补偿。

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