恭喜上海芯密科技股份有限公司高洁获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海芯密科技股份有限公司申请的专利一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117777941B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311562136.7，技术领域涉及：C09J183/04；该发明授权一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用是由高洁;奚香荣;张玉龙;张红;邓鹏飞设计研发完成，并于2023-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体材料技术领域，特别是涉及一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用。所述密封胶的主要原料为有机硅，还可以包括改性的纳米二氧化硅、其他填料。本发明操作工艺方便，适用范围广，只要厚度小于2mm的任意形状的缝隙均适用。同时该密封胶的抗腐蚀性更加优异，降低了静电吸盘的维护成本，同时延长其使用寿命。
本发明授权一种用于静电吸盘缝隙的密封胶及其制备方法与应用在权利要求书中公布了：1.一种用于静电吸盘缝隙的密封胶，其特征在于，所述密封胶包括如下重量份的组分：有机硅100份改性的纳米二氧化硅2～10份；其他填料0～5份；所述改性的纳米二氧化硅的改性方法包括：将纳米二氧化硅与溶剂、改性剂混合，在一定温度下反应，后处理后制备获得改性纳米二氧化硅；所述纳米二氧化硅粉末的粒径为20nm-100nm；所述纳米二氧化硅与改性剂的质量比为10～50：90～50；所述有机硅为NX-085或DOWSIL-7091的有机硅；所述改性剂为硅烷偶联剂；所述其他填料选自钛白粉和或立德粉，所述钛白粉的重量份为0.1～5份，所述立德粉的重量份为0.1～5份。
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