恭喜广东瑞乐半导体科技有限公司陈俊佳获国家专利权
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龙图腾网恭喜广东瑞乐半导体科技有限公司申请的专利一种用于晶圆测温点走线的压点模具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222618041U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323266181.6，技术领域涉及：G01K1/00；该实用新型一种用于晶圆测温点走线的压点模具是由陈俊佳;冯祖渊;李健和设计研发完成，并于2023-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶圆测温点走线的压点模具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆测温点走线的压点模具，属于晶圆测温技术领域，本结构包括圆环内膜，圆环内膜上设置有凹槽，凹槽底部设置有走线槽，走线槽上方设置有压膜，压膜用于将固定在走线槽内的信号线压紧；具体实施时，先将热电偶的信号线固定在走线槽内，然后通过压膜将其压紧，并将圆环内膜固定在晶圆上，当信号线受到拉力时，部分拉力会分化到圆环内膜上，进而分化到晶圆上，避免力集中在热电偶与信号线的连接处，本模具还能规范热电偶的信号线的走线，避免信号线缠绕混乱，此外，还可通过本模具使固定热电偶固定胶水点大小一致，以及通过本模具对测温点的固定胶水施加压力，使胶水气泡排出，令胶水密度一致，从而达到导热的一致性。
本实用新型一种用于晶圆测温点走线的压点模具在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆测温点走线的压点模具，其特征在于，包括：圆环内膜；所述圆环内膜上设置有凹槽，所述凹槽底部设置有走线槽，所述走线槽上方设置有压膜，所述压膜用于将固定在所述走线槽内的信号线压紧。
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