恭喜理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司徐和平获国家专利权
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龙图腾网恭喜理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利板式加热器以及沉积腔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222613446U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323351181.6，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型板式加热器以及沉积腔是由徐和平设计研发完成，并于2023-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本板式加热器以及沉积腔在说明书摘要公布了：本实用新型提供板式加热器以及沉积腔。所述板式加热器包括基座、依次叠置在所述基座上的加热件以及用于将所述加热件产生的热量辐射出去的辐射模块，所述辐射模块包括多个辐射罩，所述基座上设置有多根导轨，每个辐射罩的反面设置有与相应导轨相匹配的结合部，其罩体侧部设置有与导轨末端的凸块相匹配的凹槽，通过所述结合部与导轨结合并沿其滑动至使所述凸块从凹槽穿出，通过相匹配的紧固件与所述凸块结合从而将所述辐射罩与导轨固定连接。本实用新型能提高拆卸便利性以及拆卸效率。
本实用新型板式加热器以及沉积腔在权利要求书中公布了：1.一种板式加热器，其包括基座、依次叠置在所述基座上的加热模块以及用于将所述加热模块产生的热量辐射出去的辐射模块，其特征在于，所述板式加热器还包括架设在所述加热模块上的多根导轨，所述辐射模块包括多个辐射罩，每个辐射罩的反面设置有与相应导轨相匹配的结合部，其罩体侧部设置有与导轨末端的凸块相匹配的凹槽，通过所述结合部与导轨结合并沿其滑动至使所述凸块从凹槽穿出，通过相匹配的紧固件与所述凸块结合从而将所述辐射罩与导轨固定连接。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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