买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜无锡沃格自动化科技股份有限公司申请的专利一种晶圆定位缓存机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222619721U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202323553367.X，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆定位缓存机构是由顾鑫;郑俭;高华;孙倩设计研发完成，并于2023-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆定位缓存机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种晶圆定位缓存机构，其包括相机定位装置和移载装置，移载装置包括移载架、移载组件和调整单元，移载架上设置有吸附平台，吸附平台用于承载晶圆，移载组件用于驱动移载架移动，以带动晶圆至相机定位装置处拍照后复位，相机定位装置用于获取吸附平台上的晶圆的位置信息并发送至调整单元，调整单元用于对晶圆进行X、Y向以及角度方向的调整。上述晶圆定位缓存机构采用相机定位装置取代传统的晶圆寻边器的方式，再配合调整单元将晶圆精定位，不仅设计巧妙，可根据要求调整晶圆的位置，规避了对晶圆造成损坏的现象，而且定位方式简单，显著提高了定位的精准度，大大节省了定位时间，提高了产出效率，降低了使用成本。

本实用新型一种晶圆定位缓存机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位缓存机构，其特征在于，所述晶圆定位缓存机构包括相机定位装置和移载装置，所述相机定位装置沿第一方向设置于所述移载装置的一侧，其中，所述移载装置包括移载架、移载组件和调整单元，所述移载架上设置有吸附平台，所述吸附平台用于承载晶圆，所述移载组件的活动端连接所述移载架，所述移载组件被配置为驱动所述移载架沿所述第一方向往复移动，以带动所述晶圆至所述相机定位装置处拍照后复位，所述相机定位装置被配置为获取所述吸附平台上的晶圆的位置信息并将获取的位置信息发送至调整单元，所述调整单元包括第一调整组件、第二调整组件和旋转调整组件，所述第一调整组件被配置为驱动所述吸附平台沿所述第一方向往复移动，以在所述第一方向对晶圆进行调整，所述第二调整组件被配置为驱动所述吸附平台沿第二方向往复移动，以在所述第二方向对晶圆进行调整，所述旋转调整组件被配置为驱动所述吸附平台旋转指定角度，以调节所述晶圆的旋转角度，所述第二方向与所述第一方向垂直。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡沃格自动化科技股份有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市菱湖大道200号中国传感网国际创新园B栋222；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。