恭喜北京北方华创微电子装备有限公司翟梦阳获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆承载装置和半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222613539U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420036290.4，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型晶圆承载装置和半导体工艺设备是由翟梦阳;赵东华;梁建辉;代学志设计研发完成，并于2024-01-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载装置和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆承载装置和半导体工艺设备，涉及半导体工艺技术领域，以解决第二托盘转速不易检测的问题。晶圆承载装置包括：第一托盘；以及第二托盘，多个第二托盘分别转动设置于第一托盘，第二托盘的边缘具有颜色不同的第一颜色区和第二颜色区，第一颜色区和第二颜色区在第二托盘的边缘在周向均匀交替地排布。本实用新型提供的晶圆承载装置可以方便地检测到第二托盘的转速。
本实用新型晶圆承载装置和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括：第一托盘10；第二托盘20，多个所述第二托盘20分别转动设置于所述第一托盘10，所述第二托盘20的边缘具有颜色不同的第一颜色区22和第二颜色区23，所述第一颜色区22和所述第二颜色区23在所述第二托盘20的边缘在周向均匀交替地排布，所述第二托盘20在转动时所述第二颜色区23与所述第一颜色区22的切换配置为能够被颜色传感器50检测。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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