恭喜徐州光引科技发展有限公司林天华获国家专利权
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龙图腾网恭喜徐州光引科技发展有限公司申请的专利一种基于光电探测器阵列的光谱仪及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117870866B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410032606.7,技术领域涉及:G01J3/28;该发明授权一种基于光电探测器阵列的光谱仪及其制造方法是由林天华;严亭设计研发完成,并于2024-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于光电探测器阵列的光谱仪及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于光电探测器阵列的光谱仪及其制造方法,涉及重建式光谱仪技术领域,包括光电探测单元阵列,所述光电探测单元阵列包括若干光电探测单元,所述光电探测单元包括光电探测器和介质膜层,所述光电探测器包括感光部分和电极,所述介质膜层覆盖于所述感光部分,所述电极裸露。本发明可以消除数值孔径的影响,增大受光面积,使光耦合损耗减小,同时做到工艺简单。
本发明授权一种基于光电探测器阵列的光谱仪及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种基于光电探测器阵列的光谱仪制造方法,其特征在于,所述光谱仪制造方法用于制造光谱仪,包括如下步骤:在固定有若干光电探测器的载具上涂覆光刻胶,若干所述光电探测器在所述载具上间隔设置;使用与载具相匹配的掩膜版对光刻胶进行曝光和显影,显影后,光电探测器的电极由光刻胶覆盖,光电探测器的感光部分裸露;在光电探测器的感光部分进行薄膜生长形成介质膜层;所述介质膜层包括多层交替更换的透明介质;剥离光刻胶,使电极裸露,覆盖介质膜层的光电探测器以及裸露的电极形成光电探测单元;将光电探测单元从载具上取下,转移到封装基板上进行集成和互联,形成光电探测器阵列,由所述光电探测器阵列形成光谱仪。
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