恭喜北京北方华创微电子装备有限公司马宏建获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利输气装置及半导体工艺设备的工艺腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222619678U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420167427.X，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型输气装置及半导体工艺设备的工艺腔室是由马宏建;李团结;翟广龙设计研发完成，并于2024-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本输气装置及半导体工艺设备的工艺腔室在说明书摘要公布了：本申请公开了一种输气装置及半导体工艺设备的工艺腔室，涉及半导体领域。一种输气装置，应用于半导体工艺设备的工艺腔室，所述输气装置包括：进气总管、多个第一进气支管、多个进气嘴和第一流量比例控制元件；所述进气总管与所述第一流量比例控制元件的进气端连接，多个所述第一进气支管分别与所述第一流量比例控制元件的出气端连接，所述第一流量比例控制元件用于控制多个所述第一进气支管各自的进气量；多个所述进气嘴分别用于设置于所述工艺腔室的内腔的边缘区域，并分别与多个所述第一进气支管一一对应连接。一种半导体工艺设备的工艺腔室，包括上述输气装置。本申请至少能够解决边缘区域进气不均匀影响晶圆边缘刻蚀速率均匀性等问题。
本实用新型输气装置及半导体工艺设备的工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种输气装置，应用于半导体工艺设备的工艺腔室，其特征在于，所述输气装置10包括：进气总管110、多个第一进气支管121、多个进气嘴130和第一流量比例控制元件141；所述进气总管110与所述第一流量比例控制元件141的进气端连接，多个所述第一进气支管121分别与所述第一流量比例控制元件141的出气端连接，所述第一流量比例控制元件141用于控制多个所述第一进气支管121各自的进气量；多个所述进气嘴130分别用于设置于所述工艺腔室的内腔的边缘区域，并分别与多个所述第一进气支管121一一对应连接。
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