恭喜无锡智远芯半导体设备技术有限公司张其峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜无锡智远芯半导体设备技术有限公司申请的专利一种刻蚀机喷嘴获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222619690U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420208193.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种刻蚀机喷嘴是由张其峰设计研发完成，并于2024-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀机喷嘴在说明书摘要公布了：本实用新型涉及刻蚀机技术领域，公开了一种刻蚀机喷嘴，包括机架、机座、输送带、单体喷嘴、多体喷嘴，所述机座安装于所述机架内壁底部，所述机座内壁两侧分别对称安装有输送带；本实用新型通过对称设置的两组夹持气缸能够将伸缩端夹座对电路板基片夹持定位，使得多组电路板基片通过输送带批量输送时，能够分隔后单独定位进行输送，从而使得线路板基片输送到喷头能够保持稳定性，而伺服电机能够将带动夹持气缸与线路板基片转动调整角度，使得线路板基片能够对两面自动化分步调整后刻蚀，保证了线路板两面高压刻蚀液刻蚀线路精度，并且伺服电机还可带动夹持定位的线路板基片转动到一定倾斜角度，能够适用线路板基片多种刻蚀加工场景。
本实用新型一种刻蚀机喷嘴在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀机喷嘴，包括机架1、机座3、输送带31、单体喷嘴41、多体喷嘴42，其特征在于：所述机座3安装于所述机架1内壁底部，所述机座3内壁两侧分别对称安装有输送带31，所述机架1内壁顶部安装有喷嘴安装架4，所述喷嘴安装架4一端贯穿连接有输液管43，所述单体喷嘴41与所述多体喷嘴42分别等间距安装于所述喷嘴安装架4底部，所述输送带31内沿顶部等间距安装有安装座7，所述安装座7内侧固定安装有伺服电机9，所述伺服电机9输出端固定连接有夹持气缸6，所述夹持气缸6伸缩端固定连接有夹座8。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡智远芯半导体设备技术有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市高浪东路999号A1栋8楼812室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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