恭喜广州市慧科高新材料科技有限公司孙锌获国家专利权
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龙图腾网恭喜广州市慧科高新材料科技有限公司申请的专利一种用于电镀铜工艺的导电碳涂层阳极及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118048603B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410120214.6,技术领域涉及:C23C14/02;该发明授权一种用于电镀铜工艺的导电碳涂层阳极及其制备方法和应用是由孙锌;罗东明;张之勇设计研发完成,并于2024-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于电镀铜工艺的导电碳涂层阳极及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于电镀铜工艺的导电碳涂层阳极及其制备方法和应用。该用于电镀铜工艺的导电碳涂层阳极是以钛板为基底,在其表面上以真空溅射的方式涂敷一层导电碳涂层。导电碳涂层阳极的制备方法是先对钛板进行粗化,然后以高纯度的碳材料为靶材,在真空中以溅射的方式在钛基材上涂敷致密的导电碳涂层;再在隔绝空气的条件下对上述碳涂层钛阳极进行通电,使其加热到1000‑1500℃,通电5‑10小时,冷却后便得到用于电镀铜工艺的导电碳涂层阳极。本发明的导电碳涂层阳极价格低廉,膜厚均匀性更好,导电性更好。
本发明授权一种用于电镀铜工艺的导电碳涂层阳极及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种用于电镀铜工艺的导电碳涂层阳极,其特征在于,是以钛板为基底,在其表面上以真空溅射的方式涂敷一层导电碳涂层;导电碳涂层阳极的制备方法包括如下步骤:1以高纯度的碳材料为靶材,在真空中以溅射的方式在钛基材上涂敷致密的导电碳涂层;2在隔绝空气的条件下对上述碳涂层钛阳极进行通电,使其加热到1000-1500℃,通电5-10小时,冷却后便得到用于电镀铜工艺的导电碳涂层阳极;真空涂敷碳涂层的温度为60-80℃,涂敷时间为240秒-300秒、导电碳涂层的涂敷厚度控制在3-10微米。
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