恭喜北京北方华创微电子装备有限公司齐宏光获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利环形件、晶圆承载基座、承载组件和工艺腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222613540U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420230913.1，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型环形件、晶圆承载基座、承载组件和工艺腔室是由齐宏光设计研发完成，并于2024-01-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本环形件、晶圆承载基座、承载组件和工艺腔室在说明书摘要公布了：本实用新型提供了环形件、晶圆承载基座、承载组件和工艺腔室，涉及半导体加工技术领域，以缓解现有晶圆背面容易被氢气刻蚀的问题。环形件用于与晶圆承载基座配合，环形件的底部用于与晶圆承载基座对应贴合的轴向延伸周面和径向延伸端面的总数量大于或等于四个。其可以减少晶圆背面受到氢气的刻蚀。
本实用新型环形件、晶圆承载基座、承载组件和工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种环形件，用于与晶圆承载基座20配合，其特征在于，所述环形件10的底部用于与所述晶圆承载基座20对应贴合的轴向延伸周面100和径向延伸端面200的总数量大于或等于四个。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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