恭喜北京北方华创微电子装备有限公司胡晨宇获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利温度调节装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222617625U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420334044.7，技术领域涉及：F27D19/00；该实用新型温度调节装置及半导体工艺设备是由胡晨宇;王立卡设计研发完成，并于2024-02-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本温度调节装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种温度调节装置及半导体工艺设备。温度调节装置包括：保温结构，所述保温结构用于套设在所述反应腔室与所述点火腔室间的管路结构上；加热组件，所述加热组件设置在所述保温结构内部，用于对所述管路结构加热；检测装置，所述检测装置用于检测所述管路结构的温度，以根据所述管路结构的温度控制所述加热组件的加热功率。本实用新型的温度调节装置在原有保温结构的基础上通过设置检测装置，可以通过检测装置实现管路结构温度的反馈，从而可以根据管路结构的温度控制加热组件的加热功率，调节加热组件对管路结构的加热量，进而调节管路结构内部水蒸气的温度。
本实用新型温度调节装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种温度调节装置，用于反应腔室100与点火腔室200间管路结构300，其特征在于，所述温度调节装置包括：保温结构10，所述保温结构10用于套设在所述反应腔室100与所述点火腔室200间的管路结构300上；加热组件20，所述加热组件20设置在所述保温结构10内部，用于对所述管路结构300加热；检测装置30，所述检测装置30用于检测所述管路结构300的温度，以根据所述管路结构300的温度控制所述加热组件20的加热功率。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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