恭喜北京北方华创微电子装备有限公司张先鹏获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利接地组件和半导体工艺腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222620158U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420356019.9，技术领域涉及：H01R4/66；该实用新型接地组件和半导体工艺腔室是由张先鹏;佘清;李冰;任西鹏;李新颖;白鹏展;王刚设计研发完成，并于2024-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本接地组件和半导体工艺腔室在说明书摘要公布了：本申请公开一种接地组件和半导体工艺腔室，涉及半导体技术领域。接地组件用于半导体工艺腔室，该接地组件包括：导电套筒，设置在所述导电套筒内的弹性组件，第二导电柱，所述导电套筒和所述第二导电柱中的一个用于电连接所述半导体工艺腔室的内部件，另一个用于接地。该方案能够解决目前半导体工艺腔室的内部件的接地性能较差、接地组件的运动部件所带来的产生颗粒、导电环卡滞导致导电环无法与内部件实现电连接的问题，以及接地组件安装维护不便的问题。
本实用新型接地组件和半导体工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种接地组件，用于半导体工艺腔室，其特征在于，包括：导电套筒413，设置在所述导电套筒413内的弹性组件414，第二导电柱412，所述导电套筒413和所述第二导电柱412中的一个用于电连接所述半导体工艺腔室的内部件，另一个用于接地。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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