恭喜湖南红太阳光电科技有限公司肖洁获国家专利权
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龙图腾网恭喜湖南红太阳光电科技有限公司申请的专利一种双面镀膜的石墨舟获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222613464U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420353404.8，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种双面镀膜的石墨舟是由肖洁;周佑丞;张春成;柳懿峰;吴得轶设计研发完成，并于2024-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双面镀膜的石墨舟在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种双面镀膜的石墨舟，包括：舟托和舟架，所述舟托底部的两侧分别为正负电极，多个舟架依次排列在舟托上，并与舟托底部的正负电极进行电连接，舟架用于承载待镀膜的硅片；所述舟架包括顶板和底板，顶板与底板之间设有导电组件，多个所述硅片沿竖直方向堆叠在导电组件上，且单块硅片的两个面分别为正极或负极，相邻层硅片的极性则相反，以实现每相邻两层硅片之间形成电场，从而产生等离子体，完成硅片双面镀膜。本实用新型具有结构紧凑、便于维护、镀膜效率高等优点，镀膜时无需将硅片进行翻面，解决了现有技术中硅片只能有一面接触到等离子体工艺气体而无法实现在一道工序中双面同时镀膜的问题，有利于提高设备产能。
本实用新型一种双面镀膜的石墨舟在权利要求书中公布了：1.一种双面镀膜的石墨舟，其特征在于，包括：舟托1和舟架2，所述舟托1底部的两侧分别为正负电极，多个舟架2依次排列在舟托1上，并与舟托1底部的正负电极进行电连接，舟架2用于承载待镀膜的硅片3；所述舟架2包括顶板21和底板22，顶板21与底板22之间设有导电组件，多个所述硅片3沿竖直方向堆叠在导电组件上，且单块硅片3的两个面分别为正极或负极，相邻层硅片3的极性则相反，以实现每相邻两层硅片3之间形成电场，从而产生等离子体，完成硅片3双面镀膜。
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