恭喜一塔半导体(安徽)有限公司王涛获国家专利权
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龙图腾网恭喜一塔半导体(安徽)有限公司申请的专利一种应用于MOCVD反应腔的导流装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222613463U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420425300.3，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种应用于MOCVD反应腔的导流装置是由王涛;王永设计研发完成，并于2024-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种应用于MOCVD反应腔的导流装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种应用于MOCVD反应腔的导流装置，包括外圈尺寸与反应腔相匹配的导流环；所述导流环上沿周向均布有若干导流孔；所述导流环上还呈中心对称分布有两个螺杆通孔。本实用新型设置了外圈直径与反应腔相匹配的导流环，并且在导流环上沿周向均布设置了若干导流孔，使得流入反应腔底部的气体经过导流环的导向后，均匀地向反应腔底部扩散，从而提高了最终的衬底镀膜的均匀性。
本实用新型一种应用于MOCVD反应腔的导流装置在权利要求书中公布了：1.一种应用于MOCVD反应腔的导流装置，其特征在于：包括外圈尺寸与反应腔相匹配的导流环1；所述导流环1上沿周向均布有若干导流孔2；所述导流环1上还呈中心对称分布有两个螺杆通孔3。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人一塔半导体(安徽)有限公司，其通讯地址为：230601 安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号珠江路科技园B栋一层南侧103室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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