恭喜北京北方华创微电子装备有限公司张东东获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利用于焊接承载装置的定位工装、焊接工装及承载装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222608497U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420444519.8,技术领域涉及:B23K37/04;该实用新型用于焊接承载装置的定位工装、焊接工装及承载装置是由张东东;于斌;郭浩;刘海亮;钟明凯;刘凯强;孟凡强设计研发完成,并于2024-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于焊接承载装置的定位工装、焊接工装及承载装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种用于焊接承载装置的定位工装、焊接工装及承载装置。定位工装包括:转动座,绕第一轴线可转动地设置,转动座具有第一容纳腔和第一定位结构,第一容纳腔用于容纳静电卡盘,第一定位结构用于与静电卡盘在径向上定位配合,以使静电卡盘的轴线与第一轴线重合;定位组件,与转动座连接,定位组件具有第二容纳腔和第二定位结构,第二容纳腔用于容纳焊接法兰,第二定位结构用于与焊接法兰在径向定位配合,以使焊接法兰的轴线与第一轴线重合。本实用新型的定位工装通过在转动座上设置第一定位结构并在定位组件上设置第二定位结构,从而保证静电卡盘和焊接法兰的同轴度,从而提高了装配精度和焊缝质量。
本实用新型用于焊接承载装置的定位工装、焊接工装及承载装置在权利要求书中公布了:1.一种用于焊接承载装置的定位工装,所述承载装置用于半导体工艺设备,所述承载装置包括静电卡盘30和焊接法兰40,其特征在于,所述定位工装包括:转动座10,绕第一轴线可转动地设置,所述转动座10具有第一容纳腔11和第一定位结构12,所述第一容纳腔11用于容纳所述静电卡盘30,所述第一定位结构12用于与所述静电卡盘30在径向上定位配合,以使所述静电卡盘30的轴线与所述第一轴线重合;定位组件20,与所述转动座10连接,所述定位组件20具有第二容纳腔21和第二定位结构221,所述第二容纳腔21用于容纳所述焊接法兰40,所述第二定位结构221用于与所述焊接法兰40在径向定位配合,以使所述焊接法兰40的轴线与所述第一轴线重合。
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