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恭喜安徽光智科技有限公司李晓宁获国家专利权

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龙图腾网恭喜安徽光智科技有限公司申请的专利清洗工装获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222619697U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420496540.2,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型清洗工装是由李晓宁;王文慧设计研发完成,并于2024-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

清洗工装在说明书摘要公布了:本申请涉及一种清洗工装,包括底座、承载座及多个支撑件。承载座设置于底座,且承载座具有容置槽及与容置槽连通的排液孔,容置槽位于承载座背离底座的一侧,且容置槽包括清洗空间,排液孔贯穿承载座朝向底座的一侧;多个支撑件间隔布设于容置槽,且围绕清洗空间布置。采用上述的清洗工装,往容置槽内注入清洗液,在夹具和芯片取下后,将夹具支撑于多个支撑件上,芯片位于朝向容置槽的一侧,且位于清洗空间内。此时芯片浸入容置槽的清洗液内,实现对芯片表面的抛光液进行清洗,减少抛光液的残留,从而避免芯片的污染。同时,芯片朝下放置,而且抛光液被清洗,故也避免了抛光液进入夹具内部导致其损坏,确保夹具使用的可靠性,延长夹具的使用寿命。

本实用新型清洗工装在权利要求书中公布了:1.一种清洗工装,其特征在于,包括:底座;承载座,设置于所述底座,且所述承载座具有容置槽及与所述容置槽连通的排液孔,所述容置槽位于所述承载座背离所述底座的一侧,且所述容置槽包括清洗空间,所述排液孔贯穿所述承载座朝向所述底座的一侧;多个支撑件,间隔布设于所述容置槽,且围绕所述清洗空间布置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽光智科技有限公司,其通讯地址为:239064 安徽省滁州市琅琊经济开发区南京路100号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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