恭喜北京北方华创微电子装备有限公司司昌楠获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利传片装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222619709U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420518609.7，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型传片装置及半导体工艺设备是由司昌楠设计研发完成，并于2024-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本传片装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种传片装置及半导体工艺设备，属于半导体技术领域。传片装置包括承载件、挡件和驱动件，承载件设有用于承载晶圆的承载面，且承载件设有阻挡结构，阻挡结构凸起于承载面，驱动件与挡件相连，且挡件与阻挡结构相对，驱动件可驱动挡件相对于承载件运动，传片装置具有夹持状态和解除夹持状态，在传片装置处于夹持状态的情况下，挡件与阻挡结构共同夹持承载面承载的晶圆；在传片装置处于解除夹持状态的情况下，挡件与阻挡结构释放承载面承载的晶圆。半导体工艺设备包括上述的传片装置。如此，利用挡件和阻挡结构能够共同夹持承载件承载的晶圆，有效避免晶圆相对于承载件产生位移，不易影响工艺环境，有利于提升晶圆的良率。
本实用新型传片装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种应用于半导体工艺设备的传片装置，其特征在于，包括承载件100、挡件200和驱动件300，所述承载件100设有用于承载晶圆的承载面，且所述承载件100设有阻挡结构140，所述阻挡结构140凸起于所述承载面，所述驱动件300与所述挡件200相连，且所述挡件200与所述阻挡结构140相对，所述驱动件300可驱动所述挡件200相对于所述承载件100运动，所述传片装置具有夹持状态和解除夹持状态，在所述传片装置处于所述夹持状态的情况下，所述挡件200与所述阻挡结构140共同夹持所述承载面承载的所述晶圆；在所述传片装置处于所述解除夹持状态的情况下，所述挡件200与所述阻挡结构140释放所述承载面承载的所述晶圆。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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