恭喜理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司陈有生获国家专利权
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龙图腾网恭喜理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利抽气环组件以及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222613466U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421759175.6，技术领域涉及：C23C16/50；该实用新型抽气环组件以及薄膜沉积设备是由陈有生;张映奇;官良鹏设计研发完成，并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本抽气环组件以及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供抽气环组件以及薄膜沉积设备。所述抽气环组件包括内侧环、外侧环、顶部环板以及底部环板；内侧环和外侧环同轴嵌套设置，且内侧环的直径小于外侧环的直径；顶部环板以及底部环板分别在内侧环和外侧环两者的顶端以及底端进行密封，顶部环板以及底部环板的最内端与内侧环对齐，其最外端延伸超出外侧环预定长度；其中内侧环的环面上均匀开设有多个孔尺寸相同的第一气孔；外侧环的环面上开设有与多个第一气孔相互错开的多个第二气孔，多个第二气孔沿外侧环周向的孔尺寸随到抽气口的距离的递增而递增，和或相邻第二气孔的孔间距随到抽气口的距离的递增而递减。本实用新型能改善晶圆圆周方向上的抽气均匀性以及成膜均匀性。
本实用新型抽气环组件以及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种抽气环组件，其特征在于，包括内侧环、外侧环、顶部环板以及底部环板；所述内侧环和所述外侧环同轴嵌套设置，且所述内侧环的直径小于所述外侧环的直径；所述顶部环板以及所述底部环板分别在所述内侧环和所述外侧环两者的顶端以及底端进行密封，所述顶部环板以及所述底部环板的最内端与所述内侧环对齐，其最外端延伸超出所述外侧环预定长度；所述内侧环的环面上均匀开设有多个第一气孔，多个第一气孔的孔尺寸相同；以及所述外侧环的环面上开设有多个第二气孔，所述多个第二气孔与所述多个第一气孔相互错开，多个第二气孔沿所述外侧环周向的孔尺寸随到抽气口的距离的递增而递增，和或相邻第二气孔的孔间距随到抽气口的距离的递增而递减。
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