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龙图腾网恭喜中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利一种供气组件、晶圆搬运装置及气路的走线方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119170541B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411201173.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种供气组件、晶圆搬运装置及气路的走线方法是由朱玉东;常志勇;侯双明;刘春廷设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种供气组件、晶圆搬运装置及气路的走线方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种供气组件、晶圆搬运装置及气路的走线方法，涉及半导体技术领域，至少包括主供应结构和传输组件；所述传输组件包括供气管路和传输部，所述供气管路两端分别连通于主供应结构和传输部，所述传输部包括至少两组气路；其中，所述主供应结构的气体经过所述供气管路传输至所述传输部，所述传输部分别为至少两个末端执行器中的耗气元件进行供气，所述传输部将所述供气管路的固定供气方式转化为旋转供气方式，所述传输部中的每组气路之间可发生相对旋转，使得每组气路随着每个末端执行器的无限回转进行适应动作。本发明主要用于晶圆的搬运过程，其中供气组件至少能够解决末端执行器转动导致气路缠绕的技术问题。

本发明授权一种供气组件、晶圆搬运装置及气路的走线方法在权利要求书中公布了：1.一种供气组件，应用于晶圆搬运装置，所述晶圆搬运装置包括至少两个可发生相对转动的末端执行器120，两个所述末端执行器120上均设置耗气元件550，且每个所述末端执行器120可沿顺时针或逆时针方向持续无限回转，其特征在于，包括：主供应结构400和传输组件410；所述传输组件410包括供气管路411和传输部500，所述供气管路411两端分别连通于主供应结构400和传输部500，所述传输部500包括至少两组气路；其中，所述主供应结构400的气体经过所述供气管路411传输至所述传输部500，所述传输部500分别为至少两个所述末端执行器120中的所述耗气元件550进行供气，所述传输部500将所述供气管路411的固定供气方式转化为旋转供气方式，所述传输部500中的每组气路之间可发生相对旋转，使得每组气路随着每个末端执行器120的无限回转进行适应动作；所述传输部500包括：心轴件501，用于定位所述传输部500的位置；第一驱动件502，与所述心轴件501同轴设置，转动设置于所述心轴件501外壁，用于带动其中一个所述末端执行器120运动；所述心轴件501上至少开设第一气道503，所述第一驱动件502上至少开设有第二气道504，每个所述末端执行器120上均固定设置耗气元件550，所述第二气道504用于连通末端执行器120的耗气元件550；所述第一驱动件502内壁设置有第一连接件510，所述第一连接件510内壁开设第一环槽511，外壁开设有第二环槽512，所述第一连接件510侧壁开设连接孔513，所述连接孔513两端分别连通于所述第一环槽511和所述第二环槽512，所述第一气道503连通于所述第一环槽511，所述第二气道504连通于所述第二环槽512；所述供气管路411的气体依次通入所述第一气道503、第一环槽511、连接孔513、第二环槽512、第二气道504进入其中一个所述末端执行器120的耗气元件550；所述心轴件501上开设有第三气道505，所述第一驱动件502上开设有第四气道506，所述第三气道505与所述第四气道506通过所述第一连接件510连通，所述第一驱动件502外部设置有输出部520，所述输出部520用于连接另一个所述末端执行器120，所述第四气道506连通于所述输出部520；所述供气管路411的气体通入所述第三气道505，再通过所述第四气道506后进入所述输出部520，以进入另一个所述末端执行器120的耗气元件550。

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