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龙图腾网恭喜南京大学申请的专利一种具有抗单粒子效应辐照能力的氮化镓器件及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119170630B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411679755.9，技术领域涉及：H10D30/47；该发明授权一种具有抗单粒子效应辐照能力的氮化镓器件及其制作方法是由周峰;荣玉;陆海;徐尉宗;周东;任芳芳设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有抗单粒子效应辐照能力的氮化镓器件及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种具有抗单粒子效应辐照能力的氮化镓器件及其制作方法。本发明所设计的具有抗单粒子效应辐照能力的氮化镓器件，包括自下而上依次设置的衬底层、高阻层、背势垒层、氮化镓层、势垒层，以及设置在势垒层上的栅极、源极和漏极；其特征在于，所述氮化镓器件还包括单粒子辐照电荷引出电极，所述单粒子辐照电荷引出电极包括均匀布置在所述势垒层的顶面上的多个p型氮化镓块、在每个所述p型氮化镓块中部设置的欧姆金属柱以及用以连接各个分散的欧姆金属柱的互联金属片；通过单粒子辐照电荷引出电极能够为辐照感生空穴泄放至器件外部提供路径，提升了器件的抗辐照能力与可靠性。

本发明授权一种具有抗单粒子效应辐照能力的氮化镓器件及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种具有抗单粒子效应辐照能力的氮化镓器件，包括自下而上依次设置的衬底层10、高阻层20、背势垒层30、氮化镓层40、势垒层50，以及设置在势垒层50上的栅极60、源极70和漏极80；其特征在于，所述氮化镓器件还包括单粒子辐照电荷引出电极90，所述单粒子辐照电荷引出电极90包括均匀布置在所述势垒层50的顶面上的多个p型氮化镓块91、在每个所述p型氮化镓块91中部设置的欧姆金属柱92以及用以连接各个分散的欧姆金属柱92的互联金属片93；每个所述p型氮化镓块91的中部具有用于向下刻蚀的中间孔94，沿所述中间孔94的内壁向氮化镓器件厚度方向向下刻蚀至背势垒层30和氮化镓层40的交界面处形成空穴引出孔，每个空穴引出孔内填充有所述欧姆金属柱92，所述欧姆金属柱92的上方设有所述互联金属片93；每个所述欧姆金属柱92的底面与所述背势垒层30的顶面形成欧姆接触，每个所述欧姆金属柱92的侧壁与对应的空穴引出孔的内壁贴合，每个所述欧姆金属柱92的顶面通过第一金属连接柱4与所述互联金属片93连接。

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