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龙图腾网恭喜新上联半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种用于快速热处理设备的温度补偿方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119181664B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411689406.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于快速热处理设备的温度补偿方法是由王文岩;李浩设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于快速热处理设备的温度补偿方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于快速热处理设备的温度补偿方法，该设备中分布有多组温度测量点，多组所述温度测量点与目标产品的多个加热区域一一对应，所述方法包括：预先针对每种类型所述目标产品，获取所述快速热处理设备在测试校准周期内单独加工该类型所述目标产品时，各组所述温度测量点对应的温度偏差与该类型所述目标产品的加工数量之间的对应关系；基于所述快速热处理设备在当前校准周期内所加工的各种类型所述目标产品的数量，根据所述对应关系分别确定各组所述温度测量点对应的当前温度偏差；基于各组所述温度测量点对应的所述当前温度偏差，对各组所述温度测量点对应的当前测量温度进行补偿。本发明能够提高快速热处理工艺中的温度测量准确性。

本发明授权一种用于快速热处理设备的温度补偿方法在权利要求书中公布了：1.一种用于快速热处理设备的温度补偿方法，所述快速热处理设备中分布有多组温度测量点，其中，多组所述温度测量点与目标产品的多个加热区域一一对应，其特征在于，所述方法包括：预先针对每种类型所述目标产品，获取所述快速热处理设备在测试校准周期内单独加工该类型所述目标产品时，各组所述温度测量点对应的温度偏差与该类型所述目标产品的加工数量之间的对应关系；基于所述快速热处理设备在当前校准周期内所加工的各种类型所述目标产品的数量，根据所述对应关系分别确定各组所述温度测量点对应的当前温度偏差；基于各组所述温度测量点对应的所述当前温度偏差，对各组所述温度测量点对应的当前测量温度进行补偿；其中，当所述快速热处理设备在所述当前校准周期内所加工的是不同类型所述目标产品时，确定各组所述温度测量点对应的所述当前温度偏差的步骤如下：针对所述当前校准周期内所加工的每种类型的所述目标产品，获取该类型所述目标产品的加工总数，并将该类型所述目标产品的加工总数代入所述对应关系，计算得到所述快速热处理设备加工该类型所述目标产品至对应所述加工总数时各组所述温度测量点对应的温度偏差；针对每组所述温度测量点，将所述当前校准周期内加工相应类型所述目标产品至对应所述加工总数时该组温度测量点对应的温度偏差相加，得到该组所述温度测量点对应的所述当前温度偏差。

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