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龙图腾网恭喜湖南顶立科技股份有限公司申请的专利内外双组份筒状工件的化学气相沉积炉获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119177429B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411698049.9，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权内外双组份筒状工件的化学气相沉积炉是由戴煜;胡祥龙;王艳艳;胡高健;刘琦;谭时雨设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本内外双组份筒状工件的化学气相沉积炉在说明书摘要公布了：本发明公开了一种内外双组份筒状工件的化学气相沉积炉，包括炉体、保温装置、设置在保温装置内的加热器、工艺充气系统、排气系统、上阻隔环，保温装置内设有沉积室；上阻隔环和筒状工件将沉积室分隔为外室区域和内室区域；工艺充气系统包括内、外侧进气管路；排气系统包括尾气分离环和两个排气通道，尾气分离环将炉体内侧顶部区域分割为分别与两个排气通道连通的内尾气区域和外尾气区域；上阻隔环和保温装置顶部均设有内、外连通通道。该化学气相沉积炉实现了对筒状工件内外侧面同时进行异质或双组份化学气相沉积加工，从而降低了生产能耗、提高了生产效率；并能将尾气分离排放，提高了安全性。

本发明授权内外双组份筒状工件的化学气相沉积炉在权利要求书中公布了：1.一种内外双组份筒状工件的化学气相沉积炉，包括炉体、保温装置、设置在所述保温装置内的加热器、工艺充气系统和排气系统，其特征在于，所述保温装置内设有密闭的沉积室；还包括设置在所述沉积室底部用以支撑定位筒状工件的工件支撑座、设置在筒状工件顶部敞口端和保温装置顶部之间的上阻隔环；所述上阻隔环和筒状工件将所述沉积室分隔为外室区域和内室区域；所述工艺充气系统包括向所述沉积室内室区域充入工艺气体的内侧进气管路以及向所述沉积室外室区域充入工艺气体的外侧进气管路；所述排气系统包括设置在所述炉体内侧顶部的尾气分离环以及设置在所述炉体顶部的两个排气通道，所述尾气分离环将所述炉体内侧顶部区域分割为分别与所述两个排气通道连通的内尾气区域和外尾气区域；所述上阻隔环和所述保温装置顶部均设有将所述沉积室内室区域连通至所述内尾气区域的内连通通道，以及将所述沉积室外室区域连通至所述外尾气区域的外连通通道。

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