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龙图腾网恭喜三星显示有限公司申请的专利用于激光加工的设备及用于补偿其误差的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111468820B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010060932.0，技术领域涉及：G05B19/404；该发明授权用于激光加工的设备及用于补偿其误差的方法是由郑昇桓;金硕焕;丁祥玄;金玗冬;金在一;丁一荣;韩种吉设计研发完成，并于2020-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于激光加工的设备及用于补偿其误差的方法在说明书摘要公布了：提供了用于激光加工的设备及用于补偿其误差的方法。该用于激光加工的设备包括支承衬底的台和生成误差补偿表的控制器、使台移动的电机驱动器和生成用于补偿误差的表的误差补偿单元。误差补偿单元包括：布置在台上的栅格板和对栅格板进行成像的成像单元。电机驱动器根据台的位置将位置同步信号输出到成像单元。成像单元从电机驱动器接收位置同步信号，并且在使台移动期间对栅格板进行成像。

本发明授权用于激光加工的设备及用于补偿其误差的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于激光加工的设备，包括：台，所述台支承衬底；控制器，所述控制器生成像差补偿表以及移动误差补偿表；电机驱动器，所述电机驱动器使所述台移动；以及误差补偿单元，其中，所述误差补偿单元包括：栅格板，所述栅格板布置在所述台上；以及成像单元，所述成像单元对所述栅格板进行成像，其中，所述电机驱动器根据所述台的位置将位置同步信号输出到所述成像单元，其中，在所述台的不持续移动的不持续段中，所述成像单元从所述电机驱动器接收所述位置同步信号，并且在使所述台停止期间对所述栅格板的多个交叉点进行成像，其中，在所述台的持续移动的持续段中，所述成像单元从所述电机驱动器接收所述位置同步信号，并且在使所述台移动期间对所述栅格板的所述多个交叉点进行成像，其中，经生成的所述移动误差补偿表包括移动误差，所述移动误差通过比较来自所述持续段的所述栅格板的所述多个交叉点的图像与来自所述不持续段的所述栅格板的所述多个交叉点的对应的图像来计算，以及其中，所述像差补偿表基于来自所述持续段的所述栅格板的所述多个交叉点的所述图像来生成。

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