买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜住友电气工业株式会社申请的专利碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114026672B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080042958.0，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法是由本家翼设计研发完成，并于2020-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法在说明书摘要公布了：碳化硅衬底为具有设置有定向平面的圆形的第一主面和与所述第一主面相对的第二主面的碳化硅衬底。第一主面具有在将定向平面被设置之前的第一主面的形状设为圆时的圆的中心。第一主面具有第一径向的第一两端部，所述第一径向的第一两端部为在假定于第一主面的第一径向上设置有通过圆的中心而在第一径向上延伸的第一假想直线时，第一假想直线与第一主面的周缘的两个交点。第一主面具有第二径向的第二两端部，所述第二径向的第二两端部为在假定于第一主面的与第一径向正交的第二径向上设置有通过圆的所述中心而在第二径向上延伸的第二假想直线时，第二假想直线与第一主面的周缘的两个交点。第一主面具有通过将第一区域和第二区域除外而得到的中央区域，第一区域为从第一径向的第一两端部的各自起到所述第一主面的内侧5mm以内的区域，第二区域为从第二径向的第二两端部的各自起到所述第一主面的内侧5mm以内的区域。在将第一主面的中央区域分割成多个正方形区域以使得具有最多的边长为5mm的完整地构成正方形的所述正方形区域时，多个第一正方形区域的LTV的平均值为0.75μm以下，多个所述第一正方形区域为以相对于圆的中心位于最外侧而构成最外周的方式配置成环状的多个正方形区域。

本发明授权碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅衬底，所述碳化硅衬底具有设置有定向平面的圆形的第一主面和与所述第一主面相对的第二主面，其中，所述第一主面具有在将所述定向平面被设置之前的所述第一主面的形状设为圆时的所述圆的中心，所述第一主面具有第一径向的第一两端部，所述第一径向的第一两端部为在假定于所述第一主面的第一径向上设置有通过所述圆的所述中心而在所述第一径向上延伸的第一假想直线时，所述第一假想直线与所述第一主面的周缘的两个交点，所述第一主面具有第二径向的第二两端部，所述第二径向的第二两端部为在假定于所述第一主面的与所述第一径向正交的第二径向上设置有通过所述圆的所述中心而在所述第二径向上延伸的第二假想直线时，所述第二假想直线与所述第一主面的所述周缘的两个交点，所述第一主面具有通过将第一区域和第二区域除外而得到的中央区域，所述第一区域为从所述第一径向的所述第一两端部的各自起到所述第一主面的内侧5mm以内的区域，所述第二区域为从所述第二径向的所述第二两端部的各自起到所述第一主面的内侧5mm以内的区域，在将所述第一主面的所述中央区域分割成多个正方形区域以使得具有最多的边长为5mm的完整地构成正方形的所述正方形区域时，多个第一正方形区域的局部厚度变化的平均值为0.75μm以下，多个所述第一正方形区域为以相对于所述圆的所述中心位于最外侧而构成最外周的方式配置成环状的多个所述正方形区域，在多个所述正方形区域之中多个第二正方形区域的局部厚度变化的平均值为0.4μm以下，多个所述第二正方形区域在多个所述第一正方形区域的所述第一径向的内侧或所述第二径向的内侧与所述第一正方形区域相邻地配置，并且以构成由多个所述第一正方形区域构成的环的内周的方式配置成环状，多个所述第一正方形区域的局部厚度变化的平均值除以以所述第一主面的所述中心为中心且边长为5mm的完整地构成正方形的第五正方形区域的局部厚度变化的值而得的值为6920以上且7114以下。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人住友电气工业株式会社，其通讯地址为：日本大阪府大阪市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。