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龙图腾网恭喜爱德华兹有限公司申请的专利排出气体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115427132B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180026442.1，技术领域涉及：B01D53/46；该发明授权排出气体处理装置是由A·埃兰加纳坦;C·P·威廉姆斯;A·V·豪布鲁克;G·D·斯坦顿设计研发完成，并于2021-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本排出气体处理装置在说明书摘要公布了：公开了装置和方法。该装置包括：减排装置的减排腔室，所述减排装置处理来自半导体加工工具的排出流以提供具有排出颗粒的经燃烧的排出流；以及位于所述减排腔室下游的第一雾化器，所述第一雾化器被构造成产生液滴，所述液滴具有基于待从所述经燃烧的排出流中去除的所述排出颗粒的颗粒尺寸的液滴尺寸。这样，雾化器可以产生与排出颗粒结合或附着到排出颗粒的液滴，这有助于从燃烧的排出流中去除排出颗粒。

本发明授权排出气体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种减排装置，包括：所述减排装置的减排腔室，所述减排装置处理来自半导体加工工具的排出流以提供具有排出颗粒的经燃烧的排出流；堰级，其位于所述减排腔室的下游，在所述堰级中，经燃烧的排出流穿过由流动水的堰围绕的导管；骤冷级，其位于所述堰级的下游，骤冷喷洒部分位于所述骤冷级中，以及位于所述骤冷级下游的第一雾化器，所述第一雾化器被构造以便产生液滴，所述液滴具有基于待从所述经燃烧的排出流中去除的所述排出颗粒的颗粒尺寸的液滴尺寸，其中所述第一雾化器包括多个喷嘴，所述多个喷嘴被构造为产生所述液滴，并且其中所述多个喷嘴被构造为从每个喷嘴产生具有不同液滴尺寸分布的所述液滴；位于所述第一雾化器下游的填料塔，其中喷洒喷嘴位于所述填料塔中，并且其中，所述多个喷嘴被供给有雾化液体和雾化气体以产生所述液滴；其中，所述多个喷嘴成组布置，每组与雾化液体源和雾化气体源并联布置，以从每组喷嘴产生具有匹配液滴尺寸分布的液滴；其中，每组中的喷嘴与雾化液体源和雾化气体源串联布置，以从该组中的每个喷嘴产生具有不同液滴尺寸分布的液滴；并且其中，构造成产生较小液滴的喷嘴朝向填料塔入口的中心定位，并且构造成产生较大液滴的喷嘴朝向填料塔入口的边缘定位。

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