恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司陈鲁获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利控制方法和检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115132632B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110325990.6，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权控制方法和检测装置是由陈鲁;王彦彦;张朝前;马砚忠;卢继奎;张嵩设计研发完成，并于2021-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本控制方法和检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种控制方法和检测装置，检测装置包括腔体、移动组件、承载组件和至少两个测距传感器，腔体形成有腔室，移动组件位于腔室内，承载组件连接移动组件，移动组件用于驱动承载组件移动，承载组件包括吸盘，至少两个测距传感器安装在吸盘的预设位置，控制方法包括：通过至少两个测距传感器检测吸盘和腔室内壁之间形成的第一距离；在第一距离小于预设距离的情况下，获取吸盘的移动速度；根据吸盘的移动速度，确定对吸盘进行调节的调节速率；根据调节速率对吸盘进行调节。上述控制方法可降低吸盘和其吸附的晶圆受到损坏的风险。
本发明授权控制方法和检测装置在权利要求书中公布了：1.一种控制方法，其特征在于，所述控制方法用于检测装置，所述检测装置包括腔体、移动组件、承载组件和至少两个测距传感器，所述腔体形成有腔室，所述移动组件位于所述腔室内，所述承载组件连接所述移动组件，所述移动组件用于驱动所述承载组件移动，所述承载组件包括吸盘，所述至少两个测距传感器安装在所述吸盘的预设位置，所述控制方法包括：通过所述至少两个测距传感器检测所述吸盘和所述腔室内壁之间形成的第一距离；在所述第一距离小于预设距离的情况下，获取所述吸盘的移动速度；根据所述吸盘的移动速度，确定对所述吸盘进行调节的调节速率；根据所述调节速率对所述吸盘进行调节，以使得所述吸盘恢复至发生位移前的位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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