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恭喜三丰智能装备集团股份有限公司刘羊获国家专利权

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龙图腾网恭喜三丰智能装备集团股份有限公司申请的专利一种晶圆盒同步提升及抓取装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114883235B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210586779.4,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权一种晶圆盒同步提升及抓取装置是由刘羊;刘梦奎;纪昌华;任海伟;徐恢川;徐庆华;柯晶;陶晶设计研发完成,并于2022-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆盒同步提升及抓取装置在说明书摘要公布了:本发明涉及一种晶圆盒同步提升及抓取装置,包括有空中轨道行走机构,空中轨道行走机构的底部通过连接柱连接有四带提升机构,四带提升机构的下方吊装有晶圆盒抓取机构;晶圆盒抓取机构包括有抓取罩壳和抓取底壳,二者拼装在一起,抓取底壳内装有主齿轮和三个行星轮,主齿轮通过伺服电机驱动运转,三个行星轮分布在主齿轮周围并与主齿轮啮合连接,每个行星轮的轮轴朝下穿过所述的抓取底壳,每个行星轮轮轴的下端均设有卡爪,三个卡爪用于共同抓取晶圆盒形成三点夹钳;本发明的装置确保了提升物体的平稳性,保护了晶圆的完整性,同时确保整个轨道小车的运行稳定性。

本发明授权一种晶圆盒同步提升及抓取装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒同步提升及抓取装置,包括有空中轨道行走机构,其特征在于:所述空中轨道行走机构的底部通过连接柱连接有四带提升机构,四带提升机构的下方吊装有晶圆盒抓取机构;所述四带提升机构包括有提升罩壳、提升机构安装板以及四组提升带组件,所述提升机构安装板固定装在提升罩壳内,提升罩壳的底部为空窗,所述连接柱自上向下穿过提升罩壳与提升机安装板中心处固定连接,每一组所述的提升带组件均包括有轮驱动器、皮带卷轮、导向轮以及提升皮带,所述轮驱动器、皮带卷轮和导向轮安置在所述的提升机构安装板上,轮驱动器驱动对应的皮带卷轮运转,提升皮带的一端卷绕在皮带卷轮上,提升皮带的另一端经过导向轮向下吊装连接到晶圆盒抓取机构上;所述晶圆盒抓取机构包括有抓取罩壳和抓取底壳,二者拼装在一起,抓取底壳内装有主齿轮和三个行星轮,主齿轮通过伺服电机驱动运转,三个行星轮分布在主齿轮周围并与主齿轮啮合连接,每个行星轮的轮轴朝下穿过所述的抓取底壳,每个行星轮轮轴的下端均设有卡爪,三个卡爪用于共同抓取晶圆盒形成三点夹钳;所述空中轨道行走机构包括有轨道小车,轨道小车的前后分别装有前驱轮和后驱轮,前驱轮与后驱轮各自通过独立的驱动单元进行驱动运行;轨道小车的底部中间处与所述连接柱固定连接在一起,轨道小车的前部与后部两侧均装有张紧导向轮,轨道小车的首尾端还各设有一根平衡限位杆,所述平衡限位杆与所述的提升罩壳侧部限位连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人三丰智能装备集团股份有限公司,其通讯地址为:435000 湖北省黄石市经济技术开发区鹏程大道98号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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