恭喜北京市科学技术研究院请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京市科学技术研究院申请的专利一种耐高温高熵氧化物涂层及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116043164B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211725591.X,技术领域涉及:C23C14/08;该发明授权一种耐高温高熵氧化物涂层及其制备方法和应用是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2022-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种耐高温高熵氧化物涂层及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明提供了一种耐高温高熵氧化物涂层及其制备方法和应用,属于高熵合金技术领域。对基体进行表面超声波清洗处理后,通过磁过滤阴极真空弧沉积依次得到单元金属涂层、三元金属涂层和高熵金属氧化物涂层,所述高熵金属氧化物涂层中金属元素种类不低于5种,每种金属元素含量独立地为8~30%。本发明磁过滤阴极真空弧沉积能过滤掉起弧产生的大颗粒和中性原子,磁过滤后沉积粒子的离化率接近为100%,得到无大颗粒的纯等离子束,可以在低的基体温度下沉积优质涂层,利用共沉积磁过滤阴极真空弧制备出元素种类数量、元素含量可调的高熵金属氧化物,涂层结合强度高、致密性好,同时具有优异的抗高温性能。
本发明授权一种耐高温高熵氧化物涂层及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种耐高温高熵氧化物涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:对基体进行表面超声波清洗处理后,通过磁过滤阴极真空弧沉积依次得到单元金属涂层、三元金属涂层和高熵金属氧化物涂层,所述高熵金属氧化物涂层中每种金属元素的原子含量独立地为8~30%;所述高熵金属氧化物涂层的厚度为1~10μm;所述单元金属涂层为Ni金属层、Ti金属层、Ag金属层或者Cr金属层;所述三元金属涂层中的金属元素包括Ti、Al、Mo、Ni、Y、Ag和Au中的任意三种;所述高熵金属氧化物涂层中金属元素为Ti-Y-Ni-Au-Al、Ti-Y-Ni-Ag-Al、Ti-Y-Cr-Au-Al、Ti-Y-Cr-Ag-Al、Ti-Y-Ni-Au-Al-Mo、Ti-Y-Ni-Ag-Al-Mo、Ti-Y-Cr-Au-Al-Mo或Ti-Y-Cr-Ag-Al-Mo;形成所述高熵金属氧化物时,磁过滤阴极真空弧沉积起弧时启用的阴极弧个数为4个,弧靶四个,每个起弧电流为20~180A,起弧电压为20~30V;起弧后通入氧气,所述氧气的进气量为周期性变化,一周期内气量依次为:60~100sccm、10~20sccm和90~120sccm,一周期时间为5~10min,周期数为10~20个;形成所述三元金属涂层时,磁过滤阴极真空弧沉积启用的阴极弧个数为2个,起弧电流为20~180A,起弧电压为20~30V;起弧时两个阴极弧电流连续自动调节,调节步长为5A,一个阴极弧从20~80A连续增加,一个从80~20A连续减少,两个阴极弧电流之和为100A,周期变化。
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