恭喜浙江大学付新获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江大学申请的专利光刻设备检测系统及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116699947B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310652690.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻设备检测系统及其检测方法是由付新;徐文苹;赵美慧;文科权;徐宁;陈文昱设计研发完成，并于2023-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻设备检测系统及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻设备检测系统及其检测方法，上密封件从浸没控制单元上方完全遮蔽其中心通孔，下密封件从浸没控制单元下方完全遮蔽其中心通孔，共同合围形成中心流室；下密封件中设下采样流道，下采样流道两端分别与中心通孔和洁净度检测器相连。对组装好的浸没控制单元及其附属流路进行浸液流路的洁净度检测，在检测过程中，封闭浸没控制单元中心通孔的上下两端，避免其内部容纳的浸液与环境气体接触，从而准确地检测浸液的洁净度，以评价浸没控制单元及其附属流路的洁净度质量。
本发明授权光刻设备检测系统及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻设备检测系统，其特征在于，包括上密封件、下密封件和洁净度检测器；上密封件从浸没控制单元的上方完全遮蔽其中心通孔；下密封件从浸没控制单元的下方完全遮蔽其中心通孔；下密封件中设有下采样流道，下采样流道一端与中心通孔连通，下采样流道另一端与洁净度检测器相连。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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