恭喜上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司陆赛浩获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆的伯努利卡盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222600952U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420325917.8，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆的伯努利卡盘是由陆赛浩;陈聪;刘大威设计研发完成，并于2024-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆的伯努利卡盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种晶圆的伯努利卡盘，包括：卡盘，所述卡盘沿水平方向设置；晶圆支撑座，所述晶圆支撑座位于卡盘上方，所述晶圆支撑座上承托有晶圆；升降机构，所述升降机构沿竖直方向设置在所述卡盘和所述晶圆支撑座之间，所述升降机构用于在取放所述晶圆时推动所述晶圆支撑座远离所述卡盘。有益效果在于：在卡盘上设置了晶圆支撑座用来控制晶圆高度，还在晶圆支撑座下方设置了升降机构。当需要取放晶圆时，升降机构可推动晶圆支撑座远离卡盘，从而增加晶圆与卡盘之间的间隙，便于机械手取放晶圆。当需要进行吸附时，降下升降机构来控制间距以满足伯努利吸附的需求。
本实用新型一种晶圆的伯努利卡盘在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的伯努利卡盘，其特征在于，包括：卡盘，所述卡盘沿水平方向设置；晶圆支撑座，所述晶圆支撑座位于卡盘上方，所述晶圆支撑座上承托有晶圆；升降机构，所述升降机构沿竖直方向设置在所述卡盘和所述晶圆支撑座之间，所述升降机构用于在取放所述晶圆时推动所述晶圆支撑座远离所述卡盘；所述升降机构包括：推动装置，所述推动装置的底部安装在所述卡盘内侧的基座上，所述推动装置的推杆的顶部连接所述晶圆支撑座；所述推杆外侧套接有波纹管；所述波纹管的底部连接所述推动装置的驱动部，所述波纹管的顶部连接所述推杆的顶部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司，其通讯地址为：200241 上海市闵行区紫海路170号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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