恭喜合肥晶合集成电路股份有限公司方小峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种晶圆镀膜的喷淋装置以及晶圆镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222594001U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420353963.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种晶圆镀膜的喷淋装置以及晶圆镀膜设备是由方小峰;杨安立;彭科津;邵风展;黄天宇设计研发完成，并于2024-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆镀膜的喷淋装置以及晶圆镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆镀膜的喷淋装置，所述喷淋装置包括：喷淋板；定位结构，所述定位结构包括：支架顶座，设于所述喷淋板的一侧；夹持组件，滑动设于所述支架顶座的底侧，所述夹持组件包括多个夹持杆以及间隙卡尺，所述夹持杆滑动设于所述支架顶座的一侧，所述间隙卡尺设于所述夹持杆上；提拉组件，设于所述支架顶座上；牵拉件，连接于所述夹持杆与所述提拉组件之间；以及弹性件，连接于所述夹持杆与所述提拉组件之间；其中，所述间隙卡尺与所述夹持杆的侧壁之间形成有空隙。通过本实用新型公开的一种晶圆镀膜的喷淋装置以及晶圆镀膜设备，能够提升晶圆表面形成的薄膜厚度的均匀性。
本实用新型一种晶圆镀膜的喷淋装置以及晶圆镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆镀膜的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置包括：喷淋板；定位结构，设于所述喷淋板上，所述定位结构包括：支架顶座，设于所述喷淋板的一侧；夹持组件，滑动设于所述支架顶座的底侧，所述夹持组件包括多个夹持杆以及间隙卡尺，所述夹持杆滑动设于所述支架顶座的一侧，所述间隙卡尺设于所述夹持杆上；提拉组件，设于所述支架顶座上；牵拉件，连接于所述夹持杆与所述提拉组件之间；以及弹性件，设于所述支架顶座的一侧，且所述弹性件连接于所述夹持杆与所述提拉组件之间；其中，所述间隙卡尺与所述夹持杆的侧壁之间形成有空隙。
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