恭喜浙江中科尚弘离子装备工程有限公司刘青隆获国家专利权
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龙图腾网恭喜浙江中科尚弘离子装备工程有限公司申请的专利一种用于离子源装置的弹性压定机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222600908U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420524404.X,技术领域涉及:H01J37/317;该实用新型一种用于离子源装置的弹性压定机构是由刘青隆;张翰林;张佳睿设计研发完成,并于2024-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于离子源装置的弹性压定机构在说明书摘要公布了:本实用新型提出一种用于离子源装置的弹性压定机构包括支承装配组件、配接密封组件、承载定位组件、容纳罩护组件、弹性拉伸组件、转接延伸组件及压合定位组件,该压定机构的支承装配组件、承载定位组件和容纳罩护组件等,共同为起弧腔提供了一个精确的装配和定位环境,从而减少因位置偏移或不稳定造成的性能波动,容纳罩护组件和弹性拉伸组件的设计,使得弹性拉伸组件在进行拉伸动作时,得到有效的遮罩防护,避免与外界设备的干涉,压合定位组件通过弹性拉伸组件和转接延伸组件与起弧腔连接,利用拉伸弹簧的弹力对起弧腔进行压合定位,使得起弧腔在受到压力时,能够得到适当的缓冲和调节,从而减少因硬性连接产生的应力集中和不稳定因素。
本实用新型一种用于离子源装置的弹性压定机构在权利要求书中公布了:1.一种用于离子源装置的弹性压定机构,其特征在于,包括:支承装配组件,该支承装配组件采用连接件安装于离子注入机的机架中,其内部具有装配空间,离子源装置的起弧腔可安装于支承装配组件中;配接密封组件,该配接密封组件安装于支承装配组件中,并与机架配合,可对支承装配组件与机架的配接部位进行密封;承载定位组件,该承载定位组件通过连接件安装于支承装配组件中,其内部具有定位空间;容纳罩护组件,该容纳罩护组件通过偏转结构安装于承载定位组件中,可在承载定位组件中偏转,其内部具有容纳空间;弹性拉伸组件,该弹性拉伸组件通过偏转结构安装于容纳罩护组件中,可在容纳罩护组件中进行拉伸动作,由容纳罩护组件对弹性拉伸组件进行遮罩防护,避免弹性拉伸组件做拉伸动作时与外界设备形成干涉;转接延伸组件,该转接延伸组件通过偏转结构安装于弹性拉伸组件中,可通过转接延伸组件对弹性拉伸组件进行拉伸操作;压合定位组件,该压合定位组件安装于转接延伸组件中,并与离子源装置的起弧腔配合,可对起弧腔进行压合定位。
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