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恭喜佛山市联动科技股份有限公司陈啟钊获国家专利权

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龙图腾网恭喜佛山市联动科技股份有限公司申请的专利一种测试装置和转塔式分选机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118969662B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411421240.9,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权一种测试装置和转塔式分选机是由陈啟钊;陈希辰;钟有权;李俊鸿设计研发完成,并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种测试装置和转塔式分选机在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体测试技术领域,公开了一种测试装置和转塔式分选机,该装置包括:测试座和测试机;测试座包括用于放置被测试芯片的放置位和双层芯片测试片;测试机包括第一芯片测试片;双层芯片测试片用于将被测试芯片连接至第一芯片测试片上,第一芯片测试片用于对被测试芯片的性能进行测试。本发明实现了对被测试芯片的高温测试,一次接触测试以及检查每一根大电流探针接触的功能测试,在对芯片测试时无需多次接触,防止多次接触对芯片表面造成损伤的情况出现,解决了在对芯片测试时多次接触对芯片表面造成损伤的问题。

本发明授权一种测试装置和转塔式分选机在权利要求书中公布了:1.一种芯片的测试装置,其特征在于,所述装置包括:测试座和测试机;所述测试座包括用于放置被测试芯片的放置位和双层芯片测试片;所述测试机包括第一芯片测试片;所述双层芯片测试片用于将被测试芯片连接至第一芯片测试片上,所述第一芯片测试片用于对被测试芯片的性能进行测试;所述被测试芯片包括栅极、源极和漏极;所述测试座包括上测试座和下测试座,所述双层芯片测试片包括第二芯片测试片和第三芯片测试片;所述上测试座和下测试座通过夹具组合为一体;所述第二芯片测试片设置在上测试座上;所述第三芯片测试片设置在下测试座上;所述被测试芯片的栅极和源极依次通过第二芯片测试片和第三芯片测试片连接至第一芯片测试片上;所述被测试芯片的漏极通过第三芯片测试片连接至第一芯片测试片上;所述上测试座还包括第一隔热保温材料层;所述第二芯片测试片包括第二栅极测试片和第二源极测试片;所述第二栅极测试片设置于第一隔热保温材料层内,所述第二栅极测试片的第一端连接所述放置位内所述被测试芯片的栅极,所述第二栅极测试片的第二端连接所述第三芯片测试片的第一端;所述第二源极测试片设置于第一隔热保温材料层内,所述第二源极测试片包括多个第二子测试片或第二子测试针,每个第二子测试片或第二子测试针的第一端连接所述放置位内所述被测试芯片的源极,每个第二子测试片或第二子测试针的第二端均连接所述第三芯片测试片的第一端;所述下测试座还包括第二隔热保温材料层,所述第三芯片测试片包括第三栅极测试片、第三源极测试片和第二漏极测试片;所述放置位设置于第二隔热保温材料层内;所述第三栅极测试片设置于所述第二隔热保温材料层内,所述第三栅极测试片的第一端连接第二栅极测试片的第二端,所述第三栅极测试片的第二端连接所述测试机;所述第二漏极测试片设置于所述第二隔热保温材料层内,所述第二漏极测试片的第一端连接所述放置位内被测试芯片的漏极,所述第二漏极测试片的第二端连接所述测试机;所述第三源极测试片设置于所述第二隔热保温材料层内,所述第三源极测试片包括多个第三子测试片或第三子测试针,每个第三子测试片或第三子测试针的第一端对应连接所述第二源极测试片的第二子测试片或第二子测试针的第二端,每个第三子测试片或第三子测试针的第二端连接所述测试机。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人佛山市联动科技股份有限公司,其通讯地址为:528000 广东省佛山市南海区国家高新区新光源产业基地光明大道16号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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