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龙图腾网恭喜浙江求是半导体设备有限公司;浙江科盛智能装备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利一种装载腔室和外延生长设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119041018B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411515967.3，技术领域涉及：C30B25/08；该发明授权一种装载腔室和外延生长设备是由曹建伟;龚碧瑶;傅林坚;朱亮;刘毅;谢文;翟硕设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种装载腔室和外延生长设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种装载腔室和外延生长设备。本申请的装载腔室包括腔室主体、盖板和至少一个开关门组件，腔室主体包括底板及与底板连接的侧壁，底板和侧壁形成容置腔，盖板的一端与侧壁中的第一侧板铰接，盖板用于封闭容置腔，开关门组件包括第一传动件和第一驱动件，第一传动件的第一端与盖板连接，以带动盖板转动，使盖板封闭或打开容置腔；第一驱动件与第一传动件的第二端连接，用于控制第一传动件运动，以使得第一传动件带动盖板转动；其中，侧壁中与第一侧板相邻的第二侧板开设有条形孔，第一传动件插置于条形孔。本申请的装载腔室和外延生长设备能够自动控制盖板的开启和关闭，无须人工手动操作。

本发明授权一种装载腔室和外延生长设备在权利要求书中公布了：1.一种装载腔室，其特征在于，所述装载腔室包括：腔室主体，所述腔室主体包括底板及与所述底板连接的侧壁，所述底板和所述侧壁形成容置腔，所述容置腔用于放置外延托盘；盖板，所述盖板设置于所述侧壁远离所述底板的一侧，所述盖板的一端与所述侧壁中的第一侧板铰接，所述盖板用于封闭所述容置腔；至少一个开关门组件，所述开关门组件包括第一传动件和第一驱动件，所述第一传动件的第一端与所述盖板连接，以带动所述盖板转动，使所述盖板封闭或打开所述容置腔；所述第一驱动件与所述第一传动件的第二端连接，用于控制所述第一传动件运动，以使得所述第一传动件带动所述盖板转动；其中，所述侧壁中与所述第一侧板相邻的第二侧板开设有条形孔，所述条形孔自所述第二侧板靠近所述盖板的一端向所述第二侧板靠近所述底板的一端延伸，所述第一传动件插置于所述条形孔；所述第一传动件的第一端与所述盖板朝向所述底板的一侧铰接，所述第一驱动件的固定端与所述第二侧板固定连接，所述第一驱动件的输出端插置于所述条形孔内，所述第一驱动件的输出端与所述第一传动件的第二端铰接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江求是半导体设备有限公司;浙江科盛智能装备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司，其通讯地址为：311100 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。