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龙图腾网恭喜浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶鸿精密机械制造有限公司申请的专利一种喷淋盘加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119077070B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411594884.8，技术领域涉及：B23H1/00；该发明授权一种喷淋盘加工方法是由张俊;朱平安;王越锋设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种喷淋盘加工方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种喷淋盘加工方法，属于喷淋盘加工技术领域；包括以下步骤：所述加工方法包括以下步骤：控制电极沿第一方向移动；获取电极在第一方向上的移动距离；根据电极在第一方向上的移动距离切换加工设备的加工状态；当移动距离处于第一范围时，使加工设备处于第一状态当移动距离处于第二范围时，切换加工设备至第二状态当加工设备处于第一状态时，控制电极进行自转；当加工设备处于第一状态时，控制电极在自转的同时沿预设轨迹移动；解决了喷淋盘的加工效率过低的技术问题，达到了提高喷淋盘加工效率的技术效果。

本发明授权一种喷淋盘加工方法在权利要求书中公布了：1.一种喷淋盘加工方法，用于加工微孔，其特征在于，所述加工方法所采用的加工设备包括：驱动装置，所述驱动装置包括多个夹持件，所述夹持件具有沿轴心转动的转动自由度和沿预设轨迹移动的移动自由度；电极，所述电极与所述夹持件可拆卸连接；供液装置，所述供液装置与驱动装置电信连接；其中，所述电极包括多条贯穿所述电极的出液通道，多条所述出液通道的出液口分别位于电极的底面和圆周面上；所述供液装置与多条出液通道连通，所述供液装置用于控制出液通道中工作液的输出状态；所述加工方法包括以下步骤：控制电极沿第一方向移动；所述第一方向为喷淋盘的轴向方向；获取电极在第一方向上的移动距离；所述电极在第一方向上的移动距离是电极在第一方向从初始点开始移动过的距离，是一个累计值；根据电极在第一方向上的移动距离切换加工设备的加工状态；当移动距离处于第一范围时，使加工设备处于第一状态；所述第一范围是零到微孔的深度；当移动距离处于第二范围时，切换加工设备至第二状态；所述第二范围是大于微孔的深度；当加工设备处于第一状态时，控制电极进行自转；当加工设备处于第二状态时，电极在自转的基础上，还能在驱动装置的带动下沿着特定的轨道进行摇动，摇动轨迹和微孔的轮廓相同，和微孔同心；获取加工设备的加工状态；根据加工设备的加工状态对应调整电极上不同出液通道的启闭状态；当加工设备处于第一状态时，控制出口位于电极底部上的出液通道保持开启；当加工设备处于第二状态时，控制出口位于电极圆周面上的出液通道开启；控制喷淋盘加工设备完成一阶孔的电火花加工；在一阶孔基础上，调整喷淋盘加工设备，重复微孔的加工步骤，完成二阶孔加工；其中，二阶孔直径大于一阶孔直径。

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