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龙图腾网恭喜宁波润华全芯微电子设备有限公司申请的专利一种表面金属及光刻胶去除装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109212918B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811027463.1，技术领域涉及：G03F7/42；该发明授权一种表面金属及光刻胶去除装置是由王冲;傅立超;沈云清设计研发完成，并于2018-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种表面金属及光刻胶去除装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种表面金属及光刻胶去除装置，包括基板、腔体、偏心卡盘、旋转驱动装置、第一摆动装置和第二摆动装置；所述腔体固定安装在所述基板上；所述旋转驱动装置设置在所述腔体内；所述偏心卡盘安装在所述旋转驱动装置上，所述旋转驱动装置转动带动所述偏心卡盘转动，晶圆偏心的设置在所述偏心卡盘上。本发明设计巧妙，采用机械化学的方式一次性去除晶圆表面的金属及光刻胶能，大大减少了人工成本，产品良率与工作效率大大提高。

本发明授权一种表面金属及光刻胶去除装置在权利要求书中公布了：1.一种表面金属及光刻胶去除装置，其特征在于：包括基板1、腔体2、偏心卡盘3、旋转驱动装置4、第一摆动装置5和第二摆动装置6；所述腔体2固定安装在所述基板1上；所述旋转驱动装置4设置在所述腔体2内；所述偏心卡盘3安装在所述旋转驱动装置4上，所述旋转驱动装置4转动带动所述偏心卡盘3转动，晶圆偏心的设置在所述偏心卡盘3上；所述第一摆动装置5和第二摆动装置6设置在所述基板1两侧，所述第一摆动装置5包括用于给所述晶圆喷射液体的常压喷嘴501，所述第二摆动装置6包括用于给所述晶圆喷射液体的高压喷嘴601；所述腔体2一侧还设置有进料口7；所述旋转驱动装置4包括第三驱动电机401、第一立柱402、电机座403、法兰404、第三防水帽405、承片台406、密封盖407和涨套408；所述第三驱动电机401固定安装在所述电机座403下端；若干所述第一立柱402上端与所述电机座403固定，下端与所述基板1固定安装；所述法兰404固定安装与在所述电机座403上方；所述第三防水帽405固定安装在所述法兰404上方；所述第三驱动电机401的转轴409通过所述涨套408与所述承片台406固定在一起，所述转轴409转动带动所述承片台406转动；所述密封盖407固定安装在所述承片台406上端中心位置；所述进料口7处还设置有端口密封装置，所述端口密封装置包括第三立柱11、第一支撑板12、滑台气缸13、第二支撑板14、接水台板15、封板16、门框17和门框固定板18；所述第三立柱11上端与所述第一支撑板12固定，下端与所述基板1固定；所述滑台气缸13下端与所述第三立柱11固定，所述滑台气缸13的活塞杆上端与所述第二支撑板14固定；所述接水台板15固定安装在所述第二支撑板14上方；所述封板16固定安装在所述第二支撑板14一侧，且所述封板16设置在所述门框17内，沿着所述门框17上下滑动；所述门框固定板18与所述门框17及腔体2固定安装在一起。

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