恭喜堀场(法国)有限公司奥利维耶·阿谢获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网恭喜堀场(法国)有限公司申请的专利瞬时椭偏仪或散射仪及相关测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112236666B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980032892.4,技术领域涉及:G01N21/21;该发明授权瞬时椭偏仪或散射仪及相关测量方法是由奥利维耶·阿谢;亚历山大·波佐罗夫;坦-连·源;布利斯·维利埃;杰拉尔丁·梅里齐;简-保罗·加斯东设计研发完成,并于2019-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本瞬时椭偏仪或散射仪及相关测量方法在说明书摘要公布了:本发明涉及椭偏仪或散射仪,包括光源1;偏振器5;光学照明系统2,4,适于朝向样品6引导入射偏振光束11;光波前分束器20,被布置为接收通过反射、透射或衍射产生的次级光束12,所述光波前分束器20被定向为形成三个准直分离光束;光学偏振修改装置25和光学偏振分离装置26,形成六个角度分离的光束;检测系统,适合于检测六个分离的光束;以及处理系统,适合于从中推导出椭圆偏振或散射测量。
本发明授权瞬时椭偏仪或散射仪及相关测量方法在权利要求书中公布了:1.一种椭偏仪(100),包括:-光源(1),适于产生源光束(10);-偏振器(5),适于接收所述源光束(10)并形成偏振入射光束(11);-光学照明系统(2,4),适于沿着入射平面(8)中的入射光轴(9)朝向样品(6)引导所述偏振入射光束(11);-光波前分束器(20),布置为接收通过所述偏振入射光束(11)在样品上以确定的入射角反射或透射形成的次级光束(12),所述次级光束(12)沿着所述入射平面(8)中的次级光轴(19)传播,所述光波前分束器(20)被定向为形成沿三个不同的光轴(16,17,18)传播的三个准直分离光束(13,14,15),所述三个不同的光轴在垂直于所述入射平面(8)的平面中成角度地分开;以及-光学偏振改变装置(25),适于接收三个准直分离光束(13,14,15),并形成根据三个不同的偏振态偏振的三个光束;-光学偏振分束器装置(26),包括沃拉斯顿棱镜,被布置和定向为接收根据三个不同的偏振态偏振的所述三个光束,并形成沿六个光轴传播的六个分开的光束(131,132,133,134,135,136),所述六个光轴在垂直于所述入射平面的平面中成角度地分开,所述沃拉斯顿棱镜将所述三个光束中的每个光束分成两个光束,所述沃拉斯顿棱镜是如下类型的沃拉斯顿棱镜,其中来自所述沃拉斯顿棱镜的两个光束的相应偏振与分离平面成+45度和-45度;-检测系统,包括至少一个衍射光栅光谱仪,适于检测所述六个分开的光束(131,132,133,134,135,136),以及处理系统,适于从中推导椭圆偏振测量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人堀场(法国)有限公司,其通讯地址为:法国帕莱索;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。