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恭喜应用材料以色列公司兰·施莱恩获国家专利权

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龙图腾网恭喜应用材料以色列公司申请的专利对包括上表面和孔的区域进行成像获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110660024B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910510873.X,技术领域涉及:G06T5/50;该发明授权对包括上表面和孔的区域进行成像是由兰·施莱恩;弗拉迪斯拉夫·卡普兰;沙查尔·帕兹设计研发完成,并于2019-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。

对包括上表面和孔的区域进行成像在说明书摘要公布了:一种用于对包括上表面和孔的区域成像的方法、计算机程序产品和系统。该方法可以包括:当带电粒子成像器处于第一配置时,由该带电粒子成像器获取该区域的第一类电子的第一图像;当该带电粒子成像器处于不同于第一配置的第二配置时,由该带电粒子成像器获取该区域的第一类电子的第二图像和该区域的第二类电子的第一图像;基于i上表面的第一类电子的第一图像,ii图像间偏移和iii孔的底部的第二类电子的第一图像,来生成区域的混合图像。

本发明授权对包括上表面和孔的区域进行成像在权利要求书中公布了:1.一种用于对包括上表面和孔的区域进行成像的方法,所述方法包括:当带电粒子成像器处于第一配置时,由所述带电粒子成像器获取所述区域的第一类电子的第一图像;其中所述区域的所述第一类电子的所述第一图像包括所述上表面的所述第一类电子的第一图像;当所述带电粒子成像器处于不同于所述第一配置的第二配置时,由所述带电粒子成像器获取所述区域的所述第一类电子的第二图像和所述区域的第二类电子的第一图像;其中所述区域的所述第二类电子的所述第一图像包括所述孔的底部的所述第二类电子的第一图像;基于所述区域的所述第一类电子的所述第一图像与所述区域的所述第一类电子的所述第二图像之间的比较,来计算图像间偏移;和基于i所述上表面的所述第一类电子的所述第一图像,ii所述图像间偏移,以及iii所述孔的所述底部的所述第二类电子的所述第一图像,来生成所述区域的混合图像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司,其通讯地址为:以色列雷霍沃特;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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