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恭喜株式会社迪思科椙浦一辉获国家专利权

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龙图腾网恭喜株式会社迪思科申请的专利保护部件形成装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111293054B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911189953.6,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权保护部件形成装置是由椙浦一辉;柿沼良典设计研发完成,并于2019-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

保护部件形成装置在说明书摘要公布了:提供保护部件形成装置,能够在片不起皱的情况下将该片载置于载台上。该保护部件形成装置包含:载台,其对片进行载置,具有被框体围绕的卡盘工作台;多个空气提供口,它们分别形成于框体,与空气提供源连通;能够移动的保持单元,其与载台面对,对晶片进行保持;树脂提供单元,其向片上提供液态树脂;以及按压垫,其被支承为能够在与片面对的位置沿上下方向移动。按压垫在比多个空气提供口靠内侧的区域与载置于载台上的片的一部分接触而对片进行按压。

本发明授权保护部件形成装置在权利要求书中公布了:1.一种保护部件形成装置,其在具有第1面和与该第1面相反的一侧的第2面的晶片的该第1面上形成保护部件,其中,该保护部件形成装置具有:载台,其对片进行载置,具有被框体围绕的卡盘工作台,在该框体中形成有分别与空气提供源连通的多个空气提供口;能够移动的保持单元,其与该载台面对,对该晶片进行保持;树脂提供单元,其向该片上提供树脂;片按压垫,其被支承为能够在与该片面对的位置沿上下方向移动;以及控制单元,其对该保持单元、该树脂提供单元以及该片按压垫的动作进行控制,该控制单元如下进行控制:在使该片按压垫与载置于该载台的该片的中央部分接触的状态下从该空气提供源提供空气,使该片的未与该片按压垫接触的区域从该载台浮起而向外周方向滑动,从而使该片的褶皱伸展。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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