恭喜汉民科技股份有限公司林志隆获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜汉民科技股份有限公司申请的专利线圈电流分配式的蚀刻机结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113130287B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010028214.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权线圈电流分配式的蚀刻机结构是由林志隆;蔡兆哲;陈俊龙设计研发完成，并于2020-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本线圈电流分配式的蚀刻机结构在说明书摘要公布了：本发明公开了一种线圈电流分配式的蚀刻机结构，其包括：第一电浆反应腔体，其具有第一反应腔室；多个第一C型线圈，其是上、下排列于第一反应腔室的外围，又每一第一C型线圈具有第一输入端部及第一接地端部；以及第一电源模块，其借由多个第一可变电容，一对一的电性连接于第一输入端部。借由本发明的实施，可以动态提供不同的清理能量，以适应反应腔室内不同部位不同厚度沉积物的清理。
本发明授权线圈电流分配式的蚀刻机结构在权利要求书中公布了：1.一种线圈电流分配式的蚀刻机结构，其特征在于，包括：第一电浆反应腔体，其具有第一反应腔室；多个第一C型线圈，其是上、下排列于该第一反应腔室的外围，又每一该第一C型线圈具有第一输入端部及第一接地端部；以及第一电源模块，其借由多个第一可变电容，一对一的电性连接于该第一输入端部；其中该第一电源模块是借由改变各个该第一可变电容的电容量，以分别控制通过各个该第一C型线圈第一电流的大小且其比例可任意的组合；其中所述第一电流的分配，是依照第一反应腔室内积垢的部位及程度而定，借由该第一电流大小的安排，就可以使某一特定的该第一C型线圈产生特定的磁场能量，在该第一反应腔室内对应的部位，产生不同的电浆能量，使相对应的该第一反应腔室内壁，产生不同程度的清理能量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人汉民科技股份有限公司，其通讯地址为：中国台湾台北市大安区敦化南路2段38号14楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号