恭喜维耶尔公司戈尔拉玛瑞扎·恰吉获国家专利权
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龙图腾网恭喜维耶尔公司申请的专利用于转移设置的对准过程获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113826165B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080036397.3，技术领域涉及：H01L21/98；该发明授权用于转移设置的对准过程是由戈尔拉玛瑞扎·恰吉设计研发完成，并于2020-05-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于转移设置的对准过程在说明书摘要公布了：一种将第一衬底与第二衬底对准的方法包括：将具有至少第一对准标记的所述第一衬底定位成紧密接近于具有至少第二对准标记的所述第二衬底，测量所述第一衬底及所述第二衬底两者的所述第一对准标记与所述第二对准标记之间的对准值；及基于所述所测量对准值调整所述第一衬底及所述第二衬底的位置。
本发明授权用于转移设置的对准过程在权利要求书中公布了：1.一种将第一衬底与第二衬底对准的方法，其包括：将具有至少一个第一对准标记的所述第一衬底定位成紧密接近于具有至少一个第二对准标记的所述第二衬底，其中所述至少一个第一对准标记包括信号源及检测器，且所述至少一个第二对准标记包括两个转移介质；测量所述第一衬底及所述第二衬底两者的所述第一对准标记与所述第二对准标记之间的对准值；及基于所述所测量对准值调整所述第一衬底及所述第二衬底的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人维耶尔公司，其通讯地址为：加拿大安大略；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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