买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜无锡市南亚科技有限公司申请的专利一种硅片检测装置结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111863688B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010807917.8，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种硅片检测装置结构是由顾韻;唐加华设计研发完成，并于2020-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片检测装置结构在说明书摘要公布了：本发明涉及一种硅片检测装置结构，包括执行驱动装置，执行驱动装置为竖直设置，执行驱动装置移动端连接立板上端，立板下端连接底板，底板中部设有安装凸台，安装凸台中转动安装旋转套，安装凸台上下端分别设有第一盖板和第二盖板，旋转套中转动安装旋转轴，旋转套上部安装固定圈及原点触发片，固定圈侧面安装第二限位杆，第一盖板顶部设置第一限位杆，第一限位杆连接弹簧一端，弹簧另一端与原点触发片连接，旋转轴下端固定连接摆臂，摆臂下部安装滚轮，底板上安装磁铁，安装凸台侧面设有原点位检测开关。本发明结构简单，占用空间小；易加工装配，使用方便灵活，节约液体使用量60%左右等特点。

本发明授权一种硅片检测装置结构在权利要求书中公布了：1.一种硅片检测装置结构，其特征在于：所述结构包括执行驱动装置，所述执行驱动装置为竖直设置，所述执行驱动装置移动端连接立板（22）上端，所述立板（22）下端连接底板（17），所述底板（17）中部设有安装凸台，所述安装凸台中转动安装旋转套（18），所述安装凸台上下端分别设有第一盖板（7）和第二盖板（20），所述第一盖板（7）和所述第二盖板（20）分别连接所述旋转套（18）上下端，所述旋转套（18）中转动安装旋转轴（19），所述旋转轴（19）上下部均伸出所述旋转套（18），所述旋转套（18）上部安装固定圈（12）及原点触发片（13），所述固定圈（12）侧面安装第二限位杆（9），所述第一盖板（7）顶部设置第一限位杆（8），所述第一限位杆（8）连接弹簧（10）一端，所述弹簧（10）另一端与所述原点触发片（13）连接，所述旋转轴（19）下端固定连接摆臂（3），所述摆臂（3）下部安装滚轮（1），所述第一盖板（7）下方安装吸板（6），所述底板（17）上安装磁铁（5），所述安装凸台侧面设有原点位检测开关。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡市南亚科技有限公司，其通讯地址为：214124 江苏省无锡市滨湖区立业路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。