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龙图腾网恭喜刘劭祺申请的专利材料处理设备及其操作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114005766B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011125167.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权材料处理设备及其操作方法是由刘劭祺设计研发完成，并于2020-10-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本材料处理设备及其操作方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种材料处理设备，包括处理腔室、外部压力源、减压器、温度调节器以及控制器。处理腔室具有内部空间。外部压力源连接于处理腔室，用以对内部空间进行加压动作。减压器连接于处理腔室，用以对内部空间进行减压动作。温度调节器设置于处理腔室内，用以调节内部空间中的温度。控制器用以控制外部压力源与温度调节器，使处理腔室内的温度与压力分别上升至第一预定温度与第一预定压力，且用以控制在上升至第一预定温度之前处理腔室内的压力持续上升。另提供一种材料处理设备的操作方法。

本发明授权材料处理设备及其操作方法在权利要求书中公布了：1.一种材料处理设备，其特征在于，包括：处理腔室，具有内部空间；外部压力源，连接于所述处理腔室，用以对所述内部空间进行加压动作；减压器，连接于所述处理腔室，用以对所述内部空间进行减压动作；温度调节器，设置于所述处理腔室内，用以调节所述内部空间中的温度；以及控制器，用以控制所述外部压力源与所述温度调节器，使所述处理腔室内的温度与压力分别在第一时间上升至第一预定温度与在第二时间上升至第一预定压力，所述第一时间小于所述第二时间，所述温度在所述第一时间内持续上升，所述压力在所述第二时间内持续上升，且用以控制在上升至所述第一预定温度之前所述处理腔室内的压力持续上升，其中在所述第二时间内的所述压力的上升曲线的斜率大于在所述第一时间内的所述温度的上升曲线的斜率；且在到达所述第一预定温度之后，在第三时间中维持所述第一预定温度，然后所述处理腔室内的所述第一预定温度继续升高到第二预定温度；以及冷却器，设置于所述处理腔室与所述减压器之间，用以冷却从所述处理腔室抽出的气体，其中被所述冷却器冷却的所述气体用以流回所述处理腔室以循环。

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