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恭喜东京毅力科创株式会社寺本聪宽获国家专利权

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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和基板收纳容器保管方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112786504B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-02-18发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011195798.1,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权基板处理装置和基板收纳容器保管方法是由寺本聪宽;辻桥辰彦;井手康盛设计研发完成,并于2020-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

基板处理装置和基板收纳容器保管方法在说明书摘要公布了:本发明涉及基板处理装置和基板收纳容器保管方法。在使收纳了基板的基板处理容器暂时待机的保管部保管比以往更多的基板收纳容器。用于处理基板的基板处理装置具有:基板收纳容器载置部,其在基板处理装置载置基板收纳容器,该基板收纳容器收纳要处理的基板;以及保管区域,其配置为靠近基板收纳容器载置部,用于保管基板收纳容器,保管区域使在水平方向上载置并保管多个基板收纳容器的保管部具有上下多层,位于最上部的保管部能够在其与顶部行驶车之间交接基板收纳容器,顶部行驶车在基板处理装置的上方移动,处于位于最上部的保管部的下侧的其他保管部以与载置并保管在位于最上部的保管部的基板收纳容器不同的朝向载置并保管基板收纳容器。

本发明授权基板处理装置和基板收纳容器保管方法在权利要求书中公布了:1.一种基板处理装置,其用于处理基板,其特征在于,该基板处理装置具有:基板收纳容器载置部,其在所述基板处理装置载置基板收纳容器,该基板收纳容器收纳要处理的基板;以及保管区域,其配置为靠近所述基板收纳容器载置部,用于保管所述基板收纳容器,所述保管区域使在水平方向上载置并保管多个所述基板收纳容器的保管部具有上下多层,位于最上部的保管部能够在其与顶部行驶车之间交接所述基板收纳容器,该顶部行驶车在所述基板处理装置的上方移动,位于最上部的保管部以第一朝向载置并保管基板收纳容器;处于所述位于最上部的保管部的下侧的其他保管部以与所述第一朝向不同的第二朝向载置并保管基板收纳容器,其中,与所述其他保管部以所述第一朝向载置并保管基板收纳容器的情况相比,在所述其他保管部以所述第二朝向载置并保管基板收纳容器时,能够保管更多数量的基板收纳容器。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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